皮拉尼真空計(jì)選型與使用建議

選型與使用建議（規(guī)避劣勢(shì)的實(shí)操方案）

1. 場(chǎng)景匹配優(yōu)先：

• 中低真空（10?1～10?? Pa）、單一氣體（空氣 / 氮?dú)猓⑦B續(xù)監(jiān)測(cè)場(chǎng)景（如真空泵配套、真空鍍膜機(jī)）：優(yōu)先選皮拉尼真空計(jì)（性價(jià)比    高）；

• 超高真空、多氣體混合、高精度需求場(chǎng)景：選電容薄膜真空計(jì)（高精度）或組合真空計(jì)（皮拉尼 + 電離）。

2. 型號(hào)選型技巧：

• 多氣體場(chǎng)景：選支持多氣體校準(zhǔn)曲線的型號(hào)（如 HORIBA PG-300，內(nèi)置 10 + 種工藝氣體曲線）；

• 高精度需求：選恒溫模式型號(hào)（如 ULVAC GP-200，精度 ±1% FS），避免恒流模式的溫度漂移；

• 惡劣環(huán)境：選帶防污染燈絲（氮化硅涂層）、高溫探頭的型號(hào)。

3. 使用維護(hù)要點(diǎn)：

• 定期清潔探頭（每 3-6 個(gè)月）、校準(zhǔn)（每 6-12 個(gè)月）；

• 安裝時(shí)遠(yuǎn)離熱源、垂直固定、密封良好；

• 混合氣體場(chǎng)景需提前獲取氣體成分，進(jìn)行修正系數(shù)設(shè)置。